Технологічні процеси в мікро- та наноелектроніці

Розглянуто основні положення фізики твердого тіла та фізичної хімії напівпровідників. Основну увагу приділено технології, відповідному устаткуванню та оснащенню, що використовується для отримання технологічного шару. Наводяться конкретні приклади вирішення обернених завдань щодо визначення технологічних режимів отримання шарів із заданими параметрами. Висвітлено регламентні роботи у промисловому виробництві. Розглянуто основні екологічні проблеми у промислових технологіях. Для студентів, які навчаються за спеціальністю «Електроніка, радіотехніка та системи зв'язку», а також інженерів, зайнятих проектуванням та обслуговуванням електронних приладів.